P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn)
XY 軸行程 18μm/ 軸
開(kāi) / 閉環(huán)可選
承載可達(dá) 0.5kg
真空版本可選
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)
S-閉環(huán)
K-開(kāi)環(huán)
P63.XY18S
P63.XY18K
單位
運(yùn)動(dòng)自由度
X、Y
驅(qū)動(dòng)控制
2路驅(qū)動(dòng)，2路傳感
2路驅(qū)動(dòng)
標(biāo)稱(chēng)行程范圍（0 ~+120 V）
16/軸
μm±10%
Max.行程范圍（0~+150 V）
18/軸
傳感器類(lèi)型
SGS
-
閉/開(kāi)環(huán)分辨率
0.6
0.2
nm
閉環(huán)線(xiàn)性度
0.3
%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度
0.25
俯仰/偏航/滾動(dòng)
≤15
μrad
空載諧振頻率
2
KHz±20%
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間
8
0.5
ms±20%
承載能力
kg
靜電容量
1.8
μF±20%
工作溫度范圍
-20~80
°C
材質(zhì)
鋁
出線(xiàn)長(zhǎng)
1.5
m±10mm
P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺(tái) 尺寸圖
17051647888
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