特性
2~3維運(yùn)動(dòng)
位移行程40μm
體積小巧
亞毫秒響應(yīng)時(shí)間
二、三維平移臺(tái)
P13壓電納米定位臺(tái)，包括二維XY軸、三維XYZ軸兩個(gè)規(guī)格型號(hào)。
閉環(huán)階躍穩(wěn)定時(shí)間圖
P13.XY閉環(huán)版本40μm行程的穩(wěn)定時(shí)間約為30ms。
超小體積、無(wú)機(jī)械間隙、高分辨率
固態(tài)鉸鏈平行四邊形設(shè)計(jì)原理，平行運(yùn)動(dòng)無(wú)機(jī)械間隙，該結(jié)構(gòu)原理使其具有非常高的分辨率，運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)性好。P13系列壓電納米定位臺(tái)可以很容易的安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測(cè)量裝置（應(yīng)變計(jì)傳感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺(tái)適用于動(dòng)態(tài)使用，是掃描應(yīng)用的理想選擇。
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