XP-63系列壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動定位臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，具有剛度大、分辨 率高、響應速度快等特點，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。 XP-63系列壓電納米定位臺典型應用 • 干涉 • 生物技術
• 納米定位 • 微加工/精密控制 應用實例 采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的精確力控制實驗。 XP-63系列壓電納米定位臺特點： • 1~3維自由組合 • zui大行程68μm • zui大承載5kg • 重復定位精度可達0.05%F.S. • 亞毫秒響應時間    1-3維平移臺
XP-63X系列壓電納米定位臺可以通過疊加的方式 組成XY，XZ，XYZ多種運動結構。多種規(guī)格型號可選。柔性鉸鏈采用精密線切割技術。 體積小、剛度大、響應速度快、閉環(huán)精度高
XP-63X系列壓電納米定位臺結構設計，具 有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特 點。負載情況下也具有很高的使用頻率，響應時間可 以實現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載，響應時 間僅為5ms。
XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅 為60×45×18mm，易于與其他平臺設備集成。
閉環(huán)版本配置應變傳感器，可實時檢測位置信號 并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過PID算法對檢測到 的位置信號進行修正，從而實現(xiàn)納米級的精密定位。 XP-63系列壓電納米定位臺技術參數(shù)： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | XP-630.XS XP-630.XK | XP-631.XS XP-631.XK | XP-633.XS XP-633.XK | 單位 | 運動自由度 | X | X | X | | 標稱行程范圍（0~120V） | 12 | 24 | 48 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 17 | 34 | 68 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 閉/開環(huán)分辨率 | 0.5/0.1 | 1/0.2 | 2/0.3 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | 0.15/- | 0.15/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <20 | <25 | <30 | μrad | 推/拉力 | 480/80 | 480/80 | 480/80 | N | 運動方向剛度 | 40 | 20 | 10 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 3.2 | 2.4 | 1.5 | kHz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 1.5/0.8 | 3/1.6 | 5/3.2 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 200 | 100 | 50 | Hz±20% | 行程 | 60 | 30 | 15 | zui大承載 | 5 | 5 | 5 | kg | 靜電容量 | 1.8 | 3.6 | 7.2 | μF±20% | 材質 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | | 重量 | 150 | 250 | 450 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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