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產品名稱:p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡

產品型號:P31

產品報價:

產品特點:p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡 25mrad是以壓電陶瓷作為驅動元件,內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計,外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動,補償量小,確保偏轉鏡具有良好的運動精度和超高的穩定性,通過內置高精度傳感器進行閉環控制,實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

更新日期:2025-09-18

P31p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡的詳細資料:

1.p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡

P31俯仰/偏轉鏡系統可提供光束偏轉角度達50mrad,這種偏轉鏡系統是基于成熟的平行運動學設計,兩個運動軸為垂直共面軸且具有共同的固定點,具有高分辨率及高定位精度等特點。

 

2.p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉鏡

特性  

 • θx,θy二維偏轉,zui大偏轉角度25mrad                    • 閉環定位精度高                    

 • 分辨率高                 • 溫度穩定性高                    • 亞毫秒響應時間

3.二維θx,θy向壓電偏轉鏡 25mrad

運動方式  

   頻率負載曲線  

  閉環曲線  

閉環傳感輸出監測電壓與偏轉鏡輸出偏轉角度成線性關系。

 

  高可靠性及長壽命、高穩定性及動態性  

   結構原理  

 

P31系統內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器,被集成在成熟的、經過FEA建模分析的鉸鏈導向系統。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩定性及可靠性。

壓電促動器、導向機構及傳感器是免維護的,不易損壞且提供超高的可靠性。先進的鉸鏈/杠桿設計將慣性zui小化,允許25mrad的大角度俯仰/偏轉范圍(可將光束偏轉50mrad),且具有非常快的響應速度,在毫秒級范圍。

除了大偏轉角度及高動態,P31還提供了亞微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器(SGS)實現了的位置控制,具有優異的重復定位精度,通常為滿行程的0.2%。

壓電偏轉鏡(兩軸運動)是基于平行運動學設計,具有共面軸及移動面。四個執行機構(壓電促動器)以90°角平分放置,成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供zui高可實現的角度穩定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現,采用橋式連接電路控制。

 

  可定制鏡片轉接座  

  驅動控制  

 

P31壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90相差輸入,通過控制電壓的大小,對不同的光路距離,可進行一定范圍的圓形范圍掃描,如下右圖所示。

 

  應用  

  產品測試  

 

       • 圖像處理/穩定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動  • 光束偏擺/穩定  • 光學、激光掃描、通信  • 光學濾波器/開關  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應光學、穩像 • 干涉

 

 

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